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    帶你進一步了解什么是冷凝泵

    發布時間:2021-07-29瀏覽:211次

       冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵。它獲得清潔真空的極限壓力zui低、抽氣速率最大的真空泵,被廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產,以及分子束研究、真空表面分析儀器、真空鍍膜設備、離子注入機和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優勢,被廣泛的應用于科學研究實驗室、乃至工業生產等眾多領域,如半導體材料制作、平板顯示器生產/測試設備、太陽能制造業、真空鍍膜、熱真空系統等。

      
    一、泵的安裝
      1、開箱后檢查泵和電機,如果證實沒有任何因裝、卸和運輸過程中造成的損壞和緊固連接件松動,泵的進出口封蓋完好,無污物等進入泵內,則可直接送到使用現場去安裝。
      
      2、安裝泵的基礎平面應用水平儀找平,待基礎水泥凝固后,將泵安裝在基礎上,并用水平儀校正底座,應嚴格檢查泵軸和電機軸的同心度,聯軸器外圓偏移允差0.1毫米,兩聯軸器端面間隙一周上最大和最小的間隙差別不得超過0.3毫米。
      
      3、泵的吸入管路和壓出管路應設有支撐,不允許管路的重量直接由泵來承受,檢查管路,儀表等接口處密封是否良好。
      
    二、結構說明
      1、品種
      N型冷凝泵為臥式懸臂單級、兩級離心泵,共分8個品種。單級的有3N6、4N6、100N130;兩級的有2.5N3X2、3N6X2、4N6X2如圖2;單級帶誘導輪的有6N6、150N110
      
      2、折疊支承部分
      支承部分主要件有托架、前后鈾承壓蓋和鈾組合定位在托架上的前后徑向滾珠鈾承上,滾球鈾承亦承受未被平衡的鈾向力。用稀油潤滑,油量可從油標看出。前后鈾承壓蓋均裝有毛氈密封圈做為鈾封以防漏油。管堵處的孔用來灌油。清洗換油時從絲孔將油放出。
      
      3、折疊密封和傳動
      泵采用軟填料密封,在鈾封處裝有可更換的鈾套。泵通過彈性聯鈾器由電動機驅動,從傳動方向看,泵為逆時針方向旋轉。

     

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